Titanium dioxide (TiO2) merupakan bahan yang memiliki
konstanta dielektrik tinggi. Salah satu manfaat
dari bahan yang memiliki konstanta dielektrik tinggi yaitu dapat mencegah
kebocoran arus. Aplikasi di
bidang elektronika yang menggunakan TiO2 yaitu mikroelektronik
diantaranya elektrokhromik, photokatalistik dan sensor. TiO2 yang
didoping dengan logam Fe, Nb, dan Ce dapat dimanfaatkan sebagai sensor gas [1,2,3,4]. Fabrikasi TiO2
yang paling dasar untuk aplikasi tersebut adalah dalam bentuk film tipis.
Fabrikasi film tipis pada saat ini memunginkan kegunaannya yang begitu luas,
mengingat sifat-sifat bahan dari film tipis dapat dimodifikasi sesuai dengan
divais yang diinginkan.
